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真空系統(tǒng)其實就是真空機(jī)組的一個類似的稱呼,真空機(jī)組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設(shè)備,它不見得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設(shè)備存在。而一般能稱為真空系統(tǒng)的肯定是各種零部件齊全。真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多,但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng),以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說:一個真空處理用的容器,用管道和閥門將它與真空泵連接起來,當(dāng)真空泵對容器進(jìn)行抽空時,容器上要有真空測量裝置,這就構(gòu)成了一個最簡單的真空抽氣系統(tǒng)。那么真空系統(tǒng)相比較于機(jī)組來說有多少泵組成呢?這個是不確定的,我們先來認(rèn)識一下可能存在的泵的名詞解釋。
主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。
前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級泵。
粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。
維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。
事實上簡單的真空系統(tǒng)只是能獲得一個粗真空,而想要獲得高真空時,通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵,比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴(kuò)散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器,通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據(jù)要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥,散熱器等等,這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。