TSP鈦升華泵和NEG泵可以獨立使用或者與離子泵組合獲得超高真空真空/極高真空環境。與離子泵組合可以使系統在更短的時間內達到超高真空

性能：

全系列無振動、免維護的鈦離子泵、鈦升華泵 (TSP) 和非蒸發型吸氣劑(NEG) 泵，可在超高真空中實現出眾的極限壓力。

在超高真空下具有高抽速

無烴真空

長時間運行

整體解決方案

抽速 0.2 - 1200 l/s

極限真空 < 1 x 10-11mbar